專注螺桿、滑閥、羅茨真空泵等
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熱門關鍵詞：螺桿真空泵、滑閥真空泵系列、羅茨真空泵系列、氣冷式（直排大氣）、SK、2S(Y)K系列液環泵
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JZJLG150-3T型螺桿真空機組性能參數表：
|
機 組 型 號Model |
單位unit |
JZJLG150-3T |
JZJLG220-4T | |
|
抽 氣 速 率 Pumping Speed
（50Hz/60Hz） |
L/S |
170/210 |
250/300 | |
|
m3/h |
630/756 |
900/1080 | ||
|
極 限 真 空Ultimate Pressure |
Pa |
≤0.2/0.1 |
≤0.2/0.1 | |
|
Torr |
≤1.5X10-3 ≤7.5X10-4 |
≤1.5X10-3 ≤7.5X10-4 | ||
|
水冷密封電機Water-cooled motor |
頻率Frequency |
Hz |
50/60 |
50/60 |
|
電壓Voltage |
V |
380 |
380 | |
|
功率Rated Power |
kW |
3+4.5 |
3+4.5 | |
|
轉速 speed |
羅茨真空泵 Roots vacuum pump ZJ-150G |
rpm |
2900/3480 |
2900/3480 |
|
螺桿真空泵 Screw Vacuum Pump LG50G |
rpm |
2900 |
2900 | |
|
氮氣N2/CDA |
壓力Pressure |
MPa |
0.05-0.1 |
0.05-0.1 |
|
流量Purge Flow |
l/min |
6-20 |
6-20 | |
|
冷卻水Cooling Water |
壓力Pressure |
MPa |
0.2-0.4 |
0.2-0.4 |
|
壓力差Pressure difference |
MPa |
0.1 |
0.1 | |
|
溫度Temp. |
℃ |
10-30 |
10-30 | |
|
流量Purge Flow |
l/min |
3-5 |
3-5 | |
|
進氣口徑Inlet |
mm |
DN100 |
DN160 | |
|
排氣口徑Outlet |
mm |
DN40 |
DN40 | |
|
重 量 Weight |
Kq |
600 |
700 | |
|
噪 音Noise |
dB（A） |
72 |
72 | |
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Dim.外形尺寸（長×寬×高）L×W×H |
mm |
1000×660 ×1050 |
1000×660 ×1050 | |
單晶爐用干式螺桿真空泵的特點：
·無油氣污染真空系統，可獲得清潔真空
·配置單晶硅專用過濾器，減少硅粉吸入真空泵
·被抽氣體不會被污染，尾氣可進行回收利用
·無油氣和油煙等有害氣體的排放，環境污染小
·避免了因泵腔內潤滑油乳化、變質而出現的運行故障，提高了系統的穩定性，同時減少了泵潤滑油的損耗
·泵可單獨使用，或者與羅茨泵、分子泵等組合成無油真空機組，作為機組的前級泵使用。單泵進氣壓力在1Pa至大氣壓均能正常工作，抽氣效率高，可大大簡化抽真空系統
·泵腔內各相對運動零件之間采用間隙密封，零件間無接觸摩擦存在，零件損耗小，使用壽命長
·泵腔內采用間隙密封，對少量小顆粒粉塵不敏感
·整機體積小，減少占地面積
·消耗功率更低，節能效果好
·運行噪聲低